1.  

   ‌化学气相沉积‌：高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积，作为氧化源与产生高纯水的反应剂，以及干法氧化等。

2.  

   ‌冶金工业‌：在冶金工业中，高纯氧用于炼钢时除硫、磷等杂质，氧和乙炔混合气燃烧时温度高达3500℃，用于钢铁的焊接和切割。

3.  

   ‌电子工业‌：高纯氧在电子工业中用于制造性能优异的燃料电池、钢材激光切割以及大规模集成电路的制造等。

4.  

   ‌医疗保健‌：高压氧治疗在医学领域有广泛应用，包括治疗一氧化碳中毒、潜水减压病等急性缺氧性疾病，以及促进慢性疾病愈合、神经康复等。

5.  

   ‌其他应用‌：高纯氧还用于水质处理、光导纤维制造、半导体工业、特殊仪器制造等领域。

‌安全注意事项‌：使用高纯氧气时应注意安全，做好防震、防火、防热、防油等工作，以防止意外发生。

综上所述，高纯氧的应用范围广泛，从工业生产到医疗保健都有其独特的价值。然而，由于其高度的氧化性和助燃性，使用过程中必须严格遵守安全操作规程，以确保安全使用。